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LMEC-300?
LMEC-300?

RIE, IBS, PECVD

12英寸特種金屬膜層刻蝕設備

Pangea? A 系列
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IBS

12英寸離子束塑形(IBS) 設備

Lorem? A 系列
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IBS

8英寸離子束塑形(IBS)設備

Ganister? A 系列
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RIE, IBD

8英寸離子束沉積(IBD)設備

Herent? Chimera? A
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ICP

12英寸硬掩膜刻蝕設備

Herent? Chimera? M
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ICP, Strip

12英寸金屬刻蝕設備

Tebaank? Pishow? P
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ICP

8英寸硅刻蝕設備

Kessel? Pishow? M
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ICP, Strip

8英寸金屬刻蝕設備

Kessel? Pishow? M2
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ICP, Strip

8英寸金屬刻蝕設備

Pishow? A 系列
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ICP

8英寸電感耦合等離子體刻蝕(ICP)設備

Pishow? D 系列
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ICP

8英寸電感耦合等離子體-深硅刻蝕(ICP-DSE)設備

Haasrode? Avior? A
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CCP

電容耦合等離子體刻蝕(CCP)設備

Shale? C 系列
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ICP-CVD

8英寸電感耦合等離子體化學氣相沉積設備

Shale? A 系列
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PECVD

8英寸等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備

Seehund? A 系列
Seehund? A 系列

VPD

氣相分解金屬沾污收集(VPD)設備

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