ICP
12英寸硬掩膜刻蝕設(shè)備
ICP, Strip
12英寸金屬刻蝕設(shè)備
8英寸硅刻蝕設(shè)備
8英寸金屬刻蝕設(shè)備
8英寸電感耦合等離子體刻蝕(ICP)設(shè)備
8英寸電感耦合等離子體-深硅刻蝕(ICP-DSE)設(shè)備
CCP
電容耦合等離子體刻蝕(CCP)設(shè)備