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Shale? C 系列
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ICP-CVD

8英寸電感耦合等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備

Shale? A 系列
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PECVD

8英寸等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備

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